實驗名稱：叉指形電極管狀壓電元件電極制備與極化研究

　　測試目的：目前，已有學者對叉指形電極的管狀壓電元件進行了一系列研究，通過靜力學方程完成理論推導，建立有限元分析模型，對該壓電元件的靜態驅動性能進行仿真分析，結果表明，該壓電元件沿軸向自由應變可達普通模型的1.55倍，能實現大位移輸出。本文將在已有研究基礎上，對該壓電元件的電極制備與極化工藝展開實驗研究，驗證該壓電元件結構的合理性和先進性。

　　測試設備：ATA-2041高壓放大器、函數發生器、示波器、交換機、計算機等。

　　圖1：位移檢測平臺

　　實驗過程：

　　搭建位移檢測平臺，信號激勵源采用任意函數發生器，經過西安安泰公司的ATA-2041高壓放大器后，一端與試樣的正負極電性連接，用于激勵電壓輸入；另一端連接示波器，用于觀察激勵信號的波形曲線及參數變化。數據采集端通過交換機同頻連接計算機與光譜共焦控制器。松緊可調螺栓將位移傳感器配套測量探頭固定在支撐架上，光源對準試樣。通過軟件實時監測位移變化值，對結果進行提取。

　　實驗結果：

　　圖2：軸向位移響應圖

　　在激勵電壓達200V時，各曲線基本達到位移峰值。極化時間為40min、60min時，位移峰值較明顯。由圖2可知，極化時間為20min、30min、50min時，位移結果在200V處未達到峰值，而是在200V附近某點處達到峰值。這是由于不良信號夾雜導致的，其原因可能是電極燒結過程中產生了塌縮現象。

　　搭建位移檢測平臺分析了極化時間對元件位移的影響規律。結果表明，隨著極化時間延長位移峰值不斷增大，設定極化電壓500V和極化溫度110℃，當極化時間為60min時，位移峰值為0.3μm。該研究結果為進一步對叉指形電極管狀壓電元件的探究提供了參考。

　　高壓放大器推薦：ATA-2041

　　圖：ATA-2041高壓放大器指標參數

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